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自動供酸系統(tǒng)供液系統(tǒng)內(nèi)可同時放置多個化學(xué)品桶，各個桶之間可自動切換。該系統(tǒng)具有排除氣泡和降低管道內(nèi)壓力波動的能力。該系統(tǒng)可實現(xiàn)清洗設(shè)備化學(xué)液的自動供液，減少人員接觸化學(xué)品的幾率，提高換液速率。自動供酸

自動供液系統(tǒng)供液系統(tǒng)內(nèi)可同時放置多個化學(xué)品桶，各個桶之間可自動切換。該系統(tǒng)具有排除氣泡和降低管道內(nèi)壓力波動的能力。該系統(tǒng)可實現(xiàn)清洗設(shè)備化學(xué)液的自動供液，減少人員接觸化學(xué)品的幾率，提高換液速率。自動供液

多晶硅硅料烘干設(shè)備該設(shè)備主要用于5-50mm不規(guī)則多晶硅塊狀小料的烘干。采用機械手自動抓取PP花籃，依次完成烘干、冷卻等工藝流程，硅塊烘干率達到100%，冷卻后的溫度≤35℃。多晶硅硅料烘干設(shè)備

全自動硅料烘干機該設(shè)備主要用于5-50mm不規(guī)則多晶硅塊狀小料的烘干。采用機械手自動抓取PP花籃，依次完成烘干、冷卻等工藝流程，硅塊烘干率達到100%，冷卻后的溫度≤35℃。全自動硅料烘干機

多晶硅硅料烘干機該設(shè)備主要用于5-50mm不規(guī)則多晶硅塊狀小料的烘干。采用機械手自動抓取PP花籃，依次完成烘干、冷卻等工藝流程，硅塊烘干率達到100%，冷卻后的溫度≤35℃。多晶硅硅料烘干機

多晶硅磁環(huán)清洗設(shè)備該設(shè)備主要用于多晶硅生產(chǎn)中的配套磁環(huán)的清洗。采用機械手自動抓取不銹鋼花籃，依次完成堿洗、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達到清洗后的硅塊表面清潔光滑、無氧化物、無硅渣、表面無水

全自動磁環(huán)清洗機該設(shè)備主要用于多晶硅生產(chǎn)中的配套磁環(huán)的清洗。采用機械手自動抓取不銹鋼花籃，依次完成堿洗、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達到清洗后的硅塊表面清潔光滑、無氧化物、無硅渣、表面無水珠

多晶硅磁環(huán)清洗機該設(shè)備主要用于多晶硅生產(chǎn)中的配套磁環(huán)的清洗。采用機械手自動抓取不銹鋼花籃，依次完成堿洗、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達到清洗后的硅塊表面清潔光滑、無氧化物、無硅渣、表面無水珠

多晶硅硅芯清洗設(shè)備該設(shè)備主要用于硅芯、母料、區(qū)熔料、橫梁等棒狀料的清洗。采用龍門機械手自動抓取PVDF料籠，依次完成腐蝕、沖洗、超聲漂洗、烘干等工藝流程，實現(xiàn)清洗后的硅料表面清潔光滑的清洗要求以及表面

全自動硅芯清洗機該設(shè)備主要用于硅芯、母料、區(qū)熔料、橫梁等棒狀料的清洗。采用龍門機械手自動抓取PVDF料籠，依次完成腐蝕、沖洗、超聲漂洗、烘干等工藝流程，實現(xiàn)清洗后的硅料表面清潔光滑的清洗要求以及表面干

多晶硅硅芯清洗機該設(shè)備主要用于硅芯、母料、區(qū)熔料、橫梁等棒狀料的清洗。采用龍門機械手自動抓取PVDF料籠，依次完成腐蝕、沖洗、超聲漂洗、烘干等工藝流程，實現(xiàn)清洗后的硅料表面清潔光滑的清洗要求以及表面干

全自動硅料清洗機該設(shè)備主要用于20-150mm不規(guī)則多晶硅塊狀料的清洗。采用機械手自動抓取PVDF花籃，依次完成腐蝕、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達到清洗后的硅塊表面清潔光滑、表面無水珠等工

多晶硅硅料清洗機該設(shè)備主要用于20-150mm不規(guī)則多晶硅塊狀料的清洗。采用機械手自動抓取PVDF花籃，依次完成腐蝕、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達到清洗后的硅塊表面清潔光滑、表面無水珠等工

全自動硅塊清洗機該設(shè)備主要用于20-150mm不規(guī)則多晶硅塊狀料的清洗。采用機械手自動抓取PVDF花籃，依次完成腐蝕、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達到清洗后的硅塊表面清潔光滑、表面無水珠等工

多晶硅硅塊清洗機該設(shè)備主要用于20-150mm不規(guī)則多晶硅塊狀料的清洗。采用機械手自動抓取PVDF花籃，依次完成腐蝕、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達到清洗后的硅塊表面清潔光滑、表面無水珠等工